今日分享KAKUHUNTER写真化学反射式膜厚监测仪

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反射式膜厚监测仪是一种反射分光式膜厚计，采用小型反射探头并采用光学干涉测量法，可应用于从实验室水平到生产过程中在线 检查的所有情况。它具有出色的可维护性，可以集成到工艺设备中或用于生产线管理目的。

最多可同时测量 9 种透明薄膜。

它具有出色的可维护性，可以集成到工艺设备中或用于生产线管理目的。

例如，它可以用作成膜、抛光和蚀刻过程中的在线监控器或终点监控器（终点检测传感器），并可以实时监控膜厚。它

还可用于评价多晶硅的结晶度和多孔薄膜的密度。

• 我想轻松测量透明多层薄膜每一层的厚度。

• 我想自动测量多个点的薄膜厚度。

• 我想以10μm以下的高分辨率研究膜厚分布。

• 我想测量半透明板的厚度。